تطبيق كربيد السيليكون على قرص
طحن قرص. أقراص الطحن هي معدات عملية مهمة لإنتاج رقائق السيليكون لـ VLSI في صناعة أشباه الموصلات. يمكن طحن أقراص الطحن المصنوعة من سيراميك كربيد السيليكون وصقلها بسرعة عالية نظرًا للصلابة العالية لأقراص الطحن وانخفاض معامل التآكل والتمدد الحراري لرقائق السيليكون. خاصة في السنوات الأخيرة ، أصبح حجم رقائق السيليكون أكبر وأكبر ، مما يطرح متطلبات أعلى لجودة وكفاءة طحن رقاقة السيليكون. سيؤدي استخدام أقراص طحن السيراميك المصنوعة من كربيد السيليكون إلى تحسين جودة وكفاءة طحن رقاقة السيليكون بشكل كبير.