كربيد السيليكون مادة السيراميك حلقة التركيز
كربيد السيليكون مادة السيراميك ذات الحلقة المركزة مع تطور تكنولوجيا أشباه الموصلات ، أصبح النقش بالبلازما تدريجياً تقنية تستخدم على نطاق واسع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. البلازما الناتجة عن النقش بالبلازما شديدة التآكل ، كما أنها سوف تسبب تآكلًا خطيرًا لتجويف غرفة العملية والمكونات الموجودة في التجويف أثناء عملية نقش الرقاقة. لذلك ، تحتاج



